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產(chǎn)品名稱(chēng)
升華儀 BOF-5-50
所屬分類(lèi)
實(shí)驗級升華儀
零售價(jià)
0.00
數量
-
+
庫存
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數
額定功率 |
5KW |
額定電壓 |
AC 220V Single Phase,50/60 Hz |
外管尺寸 |
Φ50*1200mm高純石英管(管徑可選) |
常規處理量 |
0.1-50g |
升華區溫度 |
50-800℃ |
沉積區區溫度 |
50-500℃ |
加熱區分布 |
100+200+100+100+100mm |
控溫方式 |
數字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表,采用模糊型PID控制 |
控溫點(diǎn)數量 |
5點(diǎn)獨立控溫 |
開(kāi)啟方式 |
開(kāi)門(mén)式爐體結構上下翻蓋液壓手動(dòng)開(kāi)啟 |
極限真空(潔凈系統) |
5X10-5Pa |
分子泵抽氣速率 |
100L/S |
過(guò)濾方式 |
系統采用三級過(guò)濾保護裝置,分別采用多級微孔金屬濾網(wǎng)、液氮內嵌式冷凝、90度直角臺階式過(guò)濾 |
本底真空 |
機械泵系統:1Pa |
分子泵系統:10-3Pa |
|
細節展示圖 |
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暫未實(shí)現,敬請期待
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