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前端預熱滑軌式PECVD BTF-1200C-II-SL-PECVD
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前端預熱器 |
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使用溫度 |
400℃ |
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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熱電偶 |
K型熱電偶 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
30段可編程控溫 PID參數自整定 操作界面為7’’工控電腦，內置PLC控制程序 可將溫控系統、滑軌爐滑動(dòng)（時(shí)間和距離）設定為程序控制 |
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加熱長(cháng)度 |
100mm |
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加熱元件 |
電阻絲 |
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加熱系統 |
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最高溫度 |
1200℃ |
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使用溫度 |
≤1100℃ |
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爐膛有效尺寸 |
Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據實(shí)際需求定制）
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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熱電偶 |
K型 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
30段可編程控溫 PID參數自整定 操作界面為7/10寸工控電腦，內置PLC控制程序 |
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加熱區長(cháng)度 |
440mm |
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恒溫區長(cháng)度 |
200mm |
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加熱元件 |
電阻絲 |
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供電電源 |
單相，220V 50Hz |
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PE系統 |
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功率輸出范圍 |
0W~500W |
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最大反射功率 |
100W |
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射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率穩定度 |
≤5W |
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
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整機效率 |
≥70% |
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功率因素 |
≥90% |
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冷卻方式 |
強制風(fēng)冷 |
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三路質(zhì)子流量控制系統 |
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連接頭類(lèi)型 |
雙卡套不銹鋼接頭
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標準量程（N2) |
50sccm，100sccm、500sccm（可根據用戶(hù)要求定制） |
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準確度 |
±1.5%F.S |
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線(xiàn)性 |
±1%F.S |
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重復精度 |
±0.2%F.S |
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響應時(shí)間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
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工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
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最大壓力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6，1/4'' |
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顯示 |
4位數字顯示 |
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工作環(huán)境溫度 |
5~45高純氣體 |
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壓力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止閥 |
Φ6 |
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內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
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低真空機組 |
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空氣相對濕度 |
≤85% |
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工作環(huán)境 |
5℃～40℃ |
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工作電壓 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽氣速率 |
10m³/h |
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極限真空 |
5X10-1Pa |
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工作壓力范圍 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
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耐壓值 |
0.03MPa |
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容油量 |
1.1L |
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進(jìn)氣口口徑 |
KF25 |
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排氣口口徑 |
KF25 |
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噪音 |
50dB |
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連接方式 |
采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連
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