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前端預熱滑軌式PECVD BTF-1200C-II-SL-PECVD
前端預熱器 |
|
使用溫度 |
400℃ |
爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶 |
K型熱電偶 |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
30段可編程控溫 PID參數自整定 操作界面為7’’工控電腦,內置PLC控制程序 可將溫控系統、滑軌爐滑動(dòng)(時(shí)間和距離)設定為程序控制 |
加熱長(cháng)度 |
100mm |
加熱元件 |
電阻絲 |
加熱系統 |
|
最高溫度 |
1200℃ |
使用溫度 |
≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 |
Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實(shí)際需求定制) |
爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶 |
K型 |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
30段可編程控溫 PID參數自整定 操作界面為7/10寸工控電腦,內置PLC控制程序 |
加熱區長(cháng)度 |
440mm |
恒溫區長(cháng)度 |
200mm |
加熱元件 |
電阻絲 |
供電電源 |
單相,220V 50Hz |
PE系統 |
|
功率輸出范圍 |
0W~500W |
最大反射功率 |
100W |
射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 |
≤5W |
諧波分量 |
≤-50dbc |
供電電壓 |
單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ |
整機效率 |
≥70% |
功率因素 |
≥90% |
冷卻方式 |
強制風(fēng)冷 |
三路質(zhì)子流量控制系統 |
|
連接頭類(lèi)型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程(N2) |
50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶(hù)要求定制) |
準確度 |
±1.5%F.S |
線(xiàn)性 |
±1%F.S |
重復精度 |
±0.2%F.S |
響應時(shí)間 |
氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec |
工作壓差范圍 |
0.1~0.5 MPa |
最大壓力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
顯示 |
4位數字顯示 |
工作環(huán)境溫度 |
5~45高純氣體 |
壓力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 |
Φ6 |
內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
低真空機組 |
|
空氣相對濕度 |
≤85% |
工作環(huán)境 |
5℃~40℃ |
工作電壓 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽氣速率 |
10m³/h |
極限真空 |
5X10-1Pa |
工作壓力范圍 |
1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐壓值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
進(jìn)氣口口徑 |
KF25 |
排氣口口徑 |
KF25 |
噪音 |
50dB |
連接方式 |
采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |