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產(chǎn)品名稱(chēng)
連續送料出料回轉PECVD系統 BTF-1200C-R-PECVD-AD2
所屬分類(lèi)
連續生長(cháng)型
零售價(jià)
0.00
數量
-
+
庫存
0
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數
設備組成部分包含：1）加熱系統2）Plasma系統3）爐管轉動(dòng)系統4）爐管傾斜系統5）觸屏操作系統6）進(jìn)出料組件7）進(jìn)出氣法蘭組件8）爐管及安全保護組件 9）真空系統。10）場(chǎng)內小電流裝置
1、加熱系統：
該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，該系統設置有超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。溫區為單溫區，溫區長(cháng)440mm，異形石英管規格采用Φ60*Φ100*1200。
2、Plasma系統：
本系統借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過(guò)反應氣態(tài)放電，有效利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式。
3、爐管轉動(dòng)系統：
爐管轉動(dòng)系統可以讓爐管360°勻速轉動(dòng)，轉速在0-20rpm連續可調。
4、攪拌轉動(dòng)系統可以實(shí)現360°勻速轉動(dòng)，轉速在0-30rpm連續可調。
5、爐管傾斜系統可以大角度傾斜，方便進(jìn)出料，傾斜角度在0-30°之間。
6、觸屏操作系統：該系統可以讓設備在自動(dòng)模式下高度自動(dòng)化運行，所有參數程序設定好后自動(dòng)運行：可實(shí)現按照設定程序連續工作，可設置多工作段不同參數，并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。
7、進(jìn)出料組件：進(jìn)料端由進(jìn)料罐+送料機構組成，出料端由收集罐+手動(dòng)輔助升降組件組成
8、進(jìn)出氣法蘭組件：設備法蘭左端為進(jìn)氣端，一側配有截止閥控制的進(jìn)氣口，對接混氣罐輸出的氣體。另一側預留KF25接口。右端為出氣端，一側由球閥控制的出氣口，另一側為KF25抽口。
9、爐管及安全保護組件：爐管為異形石英管，通過(guò)左右兩端磁流體密封法蘭實(shí)現真空下的回轉，設備左端法蘭配有SMC安全保護組件。
10、真空系統：由一個(gè)PCG550真空計和一臺DRV16機械泵組成，抽口端由KF25手動(dòng)擋板閥控制。
11、場(chǎng)內小電流裝置：設備左端為正極：由不銹鋼桿和導電片組成；右端為負極，由不銹鋼導電片固定在送料桿端頭。正極配有外端接線(xiàn)棒。
本設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。機架采用深灰色、門(mén)板等采用時(shí)尚橘紋白。設備簡(jiǎn)約又不乏穩重，更具備操作直觀(guān)方便、控溫精確等性能。
|
額定功率 |
4KW |
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額定電壓 |
AC220V |
|
最高溫度 |
1200℃ |
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使用溫度 |
950-1000℃ |
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爐管尺寸 |
異型管Φ60x100x1200mm |
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爐管旋轉速率 |
0~20rpm |
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攪拌旋轉速率 |
0~30rpm |
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爐體傾斜角度 |
0~35°（可調） |
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熱電偶類(lèi)型 |
K型熱電偶 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
模糊PID控制和自動(dòng)整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
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射頻功率范圍 |
0-500W |
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加熱長(cháng)度 |
440mm |
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恒溫長(cháng)度 |
200mm |
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加熱元件 |
電阻絲 |
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升溫速率 |
0-20℃/min，建議10℃/min |
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
暫未實(shí)現,敬請期待
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連續進(jìn)出料等離子體增強回轉PECVD設備 BTF-1200C-RP-PECVD
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