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產(chǎn)品名稱(chēng)

連續送料出料回轉PECVD系統 BTF-1200C-R-PECVD-AD2

設備型號:BTF-1200C-R-PECVD-AD2 設備簡(jiǎn)介:BTF-1200C-R-PECVD-AD2設備是全自動(dòng)Plasma增強PECVD系統,連續可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統,可以低壓條件下進(jìn)行實(shí)驗,PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區,輝光相對均勻等效,有效的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài),該設備爐管可360°旋轉,有助于粉料的燒結更均勻,可大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-30°之間。
所屬分類(lèi)
零售價(jià)
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數量
-
+
庫存
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數

設備組成部分包含:1)加熱系統2)Plasma系統3)爐管轉動(dòng)系統4)爐管傾斜系統5)觸屏操作系統6)進(jìn)出料組件7)進(jìn)出氣法蘭組件8)爐管及安全保護組件 9)真空系統。10)場(chǎng)內小電流裝置
 
 
1、加熱系統:
該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,該系統設置有超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。溫區為單溫區,溫區長(cháng)440mm,異形石英管規格采用Φ60*Φ100*1200。
2、Plasma系統:
本系統借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過(guò)反應氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式。
3、爐管轉動(dòng)系統:
爐管轉動(dòng)系統可以讓爐管360°勻速轉動(dòng),轉速在0-20rpm連續可調。
4、攪拌轉動(dòng)系統可以實(shí)現360°勻速轉動(dòng),轉速在0-30rpm連續可調。
5、爐管傾斜系統可以大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-30°之間。
6、觸屏操作系統:該系統可以讓設備在自動(dòng)模式下高度自動(dòng)化運行,所有參數程序設定好后自動(dòng)運行:可實(shí)現按照設定程序連續工作,可設置多工作段不同參數,并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。
7、進(jìn)出料組件:進(jìn)料端由進(jìn)料罐+送料機構組成,出料端由收集罐+手動(dòng)輔助升降組件組成
8、進(jìn)出氣法蘭組件:設備法蘭左端為進(jìn)氣端,一側配有截止閥控制的進(jìn)氣口,對接混氣罐輸出的氣體。另一側預留KF25接口。右端為出氣端,一側由球閥控制的出氣口,另一側為KF25抽口。
9、爐管及安全保護組件:爐管為異形石英管,通過(guò)左右兩端磁流體密封法蘭實(shí)現真空下的回轉,設備左端法蘭配有SMC安全保護組件。
10、真空系統:由一個(gè)PCG550真空計和一臺DRV16機械泵組成,抽口端由KF25手動(dòng)擋板閥控制。
11、場(chǎng)內小電流裝置:設備左端為正極:由不銹鋼桿和導電片組成;右端為負極,由不銹鋼導電片固定在送料桿端頭。正極配有外端接線(xiàn)棒。
 
本設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。機架采用深灰色、門(mén)板等采用時(shí)尚橘紋白。設備簡(jiǎn)約又不乏穩重,更具備操作直觀(guān)方便、控溫精確等性能。
 

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V

最高溫度

1200

使用溫度

950-1000℃

爐管尺寸

異型管Φ60x100x1200mm

爐管旋轉速率

0~20rpm

攪拌旋轉速率

0~30rpm

爐體傾斜角度

0~35°(可調)

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

模糊PID控制和自動(dòng)整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

射頻功率范圍

0-500W

加熱長(cháng)度

440mm

恒溫長(cháng)度

200mm

加熱元件

電阻絲

升溫速率

0-20℃/min,建議10℃/min

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
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