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產(chǎn)品名稱(chēng)
連續送料出料回轉PECVD系統 BTF-1200C-R-PECVD-AD2
所屬分類(lèi)
連續生長(cháng)型
零售價(jià)
0.00
數量
-
+
庫存
0
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數
設備組成部分包含:1)加熱系統2)Plasma系統3)爐管轉動(dòng)系統4)爐管傾斜系統5)觸屏操作系統6)進(jìn)出料組件7)進(jìn)出氣法蘭組件8)爐管及安全保護組件 9)真空系統。10)場(chǎng)內小電流裝置
1、加熱系統:
該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,該系統設置有超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。溫區為單溫區,溫區長(cháng)440mm,異形石英管規格采用Φ60*Φ100*1200。
2、Plasma系統:
本系統借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過(guò)反應氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式。
3、爐管轉動(dòng)系統:
爐管轉動(dòng)系統可以讓爐管360°勻速轉動(dòng),轉速在0-20rpm連續可調。
4、攪拌轉動(dòng)系統可以實(shí)現360°勻速轉動(dòng),轉速在0-30rpm連續可調。
5、爐管傾斜系統可以大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-30°之間。
6、觸屏操作系統:該系統可以讓設備在自動(dòng)模式下高度自動(dòng)化運行,所有參數程序設定好后自動(dòng)運行:可實(shí)現按照設定程序連續工作,可設置多工作段不同參數,并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。
7、進(jìn)出料組件:進(jìn)料端由進(jìn)料罐+送料機構組成,出料端由收集罐+手動(dòng)輔助升降組件組成
8、進(jìn)出氣法蘭組件:設備法蘭左端為進(jìn)氣端,一側配有截止閥控制的進(jìn)氣口,對接混氣罐輸出的氣體。另一側預留KF25接口。右端為出氣端,一側由球閥控制的出氣口,另一側為KF25抽口。
9、爐管及安全保護組件:爐管為異形石英管,通過(guò)左右兩端磁流體密封法蘭實(shí)現真空下的回轉,設備左端法蘭配有SMC安全保護組件。
10、真空系統:由一個(gè)PCG550真空計和一臺DRV16機械泵組成,抽口端由KF25手動(dòng)擋板閥控制。
11、場(chǎng)內小電流裝置:設備左端為正極:由不銹鋼桿和導電片組成;右端為負極,由不銹鋼導電片固定在送料桿端頭。正極配有外端接線(xiàn)棒。
本設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。機架采用深灰色、門(mén)板等采用時(shí)尚橘紋白。設備簡(jiǎn)約又不乏穩重,更具備操作直觀(guān)方便、控溫精確等性能。
額定功率 |
4KW |
額定電壓 |
AC220V |
最高溫度 |
1200℃ |
使用溫度 |
950-1000℃ |
爐管尺寸 |
異型管Φ60x100x1200mm |
爐管旋轉速率 |
0~20rpm |
攪拌旋轉速率 |
0~30rpm |
爐體傾斜角度 |
0~35°(可調) |
熱電偶類(lèi)型 |
K型熱電偶 |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
模糊PID控制和自動(dòng)整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能 |
射頻功率范圍 |
0-500W |
加熱長(cháng)度 |
440mm |
恒溫長(cháng)度 |
200mm |
加熱元件 |
電阻絲 |
升溫速率 |
0-20℃/min,建議10℃/min |
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連續進(jìn)出料等離子體增強回轉PECVD設備 BTF-1200C-RP-PECVD
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