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產(chǎn)品名稱(chēng)
高溫真空退火CVD系統 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210
所屬分類(lèi)
工藝定制CVD系統
零售價(jià)
0.00
數量
-
+
庫存
0
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數
1、開(kāi)啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，上下獨立8點(diǎn)控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可開(kāi)啟方便客戶(hù)更換維修反應管。
2、開(kāi)啟式預熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，上下獨立4點(diǎn)控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可開(kāi)啟方便客戶(hù)更換維修反應管。
3、氣路系統可精確控制多路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，同時(shí)可同PLC進(jìn)行聯(lián)動(dòng)控制。
4、反應管組件
反應管組件使用石英管，兩端帶水冷法蘭組件快開(kāi)卡箍，方便拆裝維護清理。
5、智能控制系統
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。
|
最高溫度 |
1200℃ |
|
持續工作溫度 |
≤1100℃ |
|
升溫速率 |
≤10℃/min |
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
加熱元件 |
電阻絲 |
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熱電偶 |
K型 |
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控溫方式 |
模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 |
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加熱總功率 |
≤27KW |
|
加熱區尺寸 |
100+200mm（預熱爐），100+200+200+200mm（加熱爐） |
|
真空度 |
≤5pa |
|
設備尺寸 |
3900*1200*2000mm |
|
設備重量 |
約1300KG |
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
暫未實(shí)現,敬請期待
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