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產(chǎn)品名稱(chēng)
智能型CVD系統 BTF-1400C-OP-4ZL-CVD
所屬分類(lèi)
工藝定制CVD系統
零售價(jià)
0.00
數量
-
+
庫存
0
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數
這是一款定制可開(kāi)啟式CVD設備。該設備主要開(kāi)啟式加熱爐、氣路系統、反應管、智能控制系統。
1、開(kāi)啟式加熱爐：
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配S型熱電偶，單點(diǎn)控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可開(kāi)啟方便客戶(hù)更換維修反應管
2、氣路系統可精確控制3路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，另外單獨1路可通強腐蝕氣體，配備吹掃氣路。
氣路管路及閥門(mén)，精工件都采用316L材質(zhì)。
3、反應管組件
反應管組件使用耐高溫剛玉管，內加剛玉管堵，兩端密封法蘭帶水冷卻系統，反應管尾部帶反應物收集冷卻裝置。實(shí)驗眾產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過(guò)冷卻收集后再通過(guò)球閥排出。
4、氣體報警系統
配備有氫氣報警器，氯氣報警器、甲烷報警器。分別設置1個(gè)檢測點(diǎn)，報警后自動(dòng)切斷氫氣、氯氣和甲烷的供應，并發(fā)出警報。
5、 智能控制系統
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。
|
最高溫度 |
1400℃ |
|
持續工作溫度 |
≤1300℃ |
|
升溫速率 |
≤10℃/min |
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
加熱元件 |
硅碳棒 |
|
熱電偶 |
S型 |
|
控溫方式 |
模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 |
|
加熱總功率 |
≤9KW |
|
加熱區尺寸 |
300*130*160mm |
|
真空度 |
≤5pa |
|
設備尺寸 |
2100*600*1350mm |
|
設備重量 |
約350KG |
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
暫未實(shí)現,敬請期待
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無(wú)
智能型連續進(jìn)出料CVD設備 BTF-1200C-III-3D-CVD-D210
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