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產(chǎn)品名稱(chēng)

智能型CVD系統 BTF-1400C-OP-4ZL-CVD

所屬分類(lèi)
零售價(jià)
0.00
數量
-
+
庫存
0
沒(méi)有此類(lèi)產(chǎn)品
聯(lián)系我們
在線(xiàn)咨詢(xún)
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數

這是一款定制可開(kāi)啟式CVD設備。該設備主要開(kāi)啟式加熱爐、氣路系統、反應管、智能控制系統。
1、開(kāi)啟式加熱爐:
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配S型熱電偶,單點(diǎn)控溫;設備升降溫控制靈活、加熱爐可開(kāi)啟方便客戶(hù)更換維修反應管
2、氣路系統可精確控制3路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,另外單獨1路可通強腐蝕氣體,配備吹掃氣路。
氣路管路及閥門(mén),精工件都采用316L材質(zhì)。
3、反應管組件
反應管組件使用耐高溫剛玉管,內加剛玉管堵,兩端密封法蘭帶水冷卻系統,反應管尾部帶反應物收集冷卻裝置。實(shí)驗眾產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過(guò)冷卻收集后再通過(guò)球閥排出。
4、氣體報警系統
配備有氫氣報警器,氯氣報警器、甲烷報警器。分別設置1個(gè)檢測點(diǎn),報警后自動(dòng)切斷氫氣、氯氣和甲烷的供應,并發(fā)出警報。
5、 智能控制系統          
采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。
 

最高溫度

1400℃

持續工作溫度

≤1300℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅碳棒

熱電偶

S型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節,人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

加熱總功率

≤9KW

加熱區尺寸

300*130*160mm

真空度

≤5pa

設備尺寸

2100*600*1350mm

設備重量

約350KG

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
暫未實(shí)現,敬請期待
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