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產(chǎn)品名稱(chēng)
公斤級防爆升華儀
所屬分類(lèi)
半導體&OLED有機小分子材料生產(chǎn)設備
零售價(jià)
0.00
數量
-
+
庫存
0
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數
結構簡(jiǎn)介：
一、電氣控制及爐膛安裝
電氣控制采用控溫儀表與觸屏組合操控，其控溫精確且操作直觀(guān)簡(jiǎn)便。儀表及觸屏均采用國內著(zhù)名品牌，質(zhì)量精確可靠。
六段爐膛溫區長(cháng)度 200+400+200+300+200+200mm，爐膛間格擋較常規爐膛格擋減薄，12 點(diǎn)控溫，利于溫區間的精確控制，爐膛可以開(kāi)啟，并裝有散熱風(fēng)扇，使降溫更快。
二、真空管路和法蘭
1、左端法蘭：
左端法蘭:法蘭上配 KF-16.KF-25 接口，CF 接口連接手套箱。爐管與法蘭之間采用聚四氟墊片填充縫隙，減少污染源。
2、右端法蘭：
右端法蘭:法蘭上配 KF-16,KF-40 接口，CF 接口連接手套箱
三、流量控制
本設備的質(zhì)量流量計，采用國內著(zhù)名品牌，質(zhì)量精確可靠。一共三路，一路量程 5slm 破空氣體經(jīng)流量計后從左端法蘭的進(jìn)氣口進(jìn)入。一路量程 10slm，控壓流量用來(lái)調整升華儀密封腔體的壓力。一路量程，500sccm，通過(guò)蝶閥控制用來(lái)調整石英管內壓力。
四、外觀(guān)
本設備結構采用承重框架結合不銹鋼包圍形式，設備簡(jiǎn)潔時(shí)尚又不乏穩重，更具備操作直觀(guān)方便、控溫精確、真空優(yōu)良等性能。重框架采用模塊式組裝結構，拆卸組裝十分方便，利于狹小空間的運輸與安裝。
技術(shù)參數（支持定制）：
額定功率：升華儀主體18KW+手套箱1.5KW*2，共21KW
額定電壓：AC380V 50/60Hz（三相五線(xiàn)制）
最高溫度：400℃
持續工作溫度：≤300℃
推薦升溫速率：≤10℃/min
爐管尺寸：高純石英管Φ210*2000mm（管徑可選）
加熱區長(cháng)度：200+400+200+300+200+200mm
控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度：±1℃
加熱元件：電阻絲
設備尺寸：10000*2000*2200mm（含電控柜）
設備凈重：約3200KG
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
暫未實(shí)現,敬請期待
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